基于对于环境保护的重视，太阳能作为新型清洁能源在近年来得到广 泛关注及发展 。目前太阳能电池绝大多数采用单晶硅片作为其原材 料，单晶硅片的成本、光电转换效率直接影响着太阳能电池的发展，小 片的单晶硅电池通常是先将单晶硅棒切割成大片硅片，再采用激光技 术上对大片硅片进行划片切割形成小片硅片，需要利用激光将硅片划 片，形成半片，由于激光划片会在硅片横断面产生损伤和缺陷态，影响 电池片的光电转换效率 。为此，亟需一种提高硅片分片后边缘一致性 好的硅片。