1. 拟解决的关键问题：TOPCon 电池使用两次高温扩散实现 p 型掺杂和表面生长约 90nm 厚的 B 硅玻璃，其中第二次高温段（氧化推进段）工艺温度高达 1050℃ , 导致关键石英器件寿命较低，同时影响生产节奏 。BSG 厚度也无法继续生长，PN 保护层收到限制 。同时较长的工艺时间，也严重影响了生产节拍 。氧化高表面浓度瓶颈：较高的表面浓度可以实现良好的欧姆接触，改善效率 。同时浅结可以利用短波段光进行光电转换提升短路电流 。氧化高温下（1050℃)浅结提效方案受到限制 。湿氧条件下可以兼顾 BSG 厚度和浅结高表面浓度，成为提效的一个重要方向。 2.湿氧方案的必要性：湿氧氧化方案可在低温条件下高速率生长氧化层，目前的研究结果显示，湿氧氧化可将氧化推进温度从 1050℃降低至 1020℃-1030℃ , 温度的降低可以极大的提高氧化炉管和氧化石英舟的使用寿命 。同时可以缩短工艺运行时间，做浅结高表面浓度工艺开发。