1)Poly 层作为 TOPCon技术的核心,对超薄隧穿层起保护作用,避免其遭到浆料烧蚀的破坏,全域 Poly 会产生较多的寄生吸收,导致电流密度损失。薄 Poly 可以提升电流密度,是TOPCon 电池提效的方向。 必要性:1) Poly 减薄后的电池结构特点:a.非栅线区域形成了超薄多晶硅层。b.背面形成了选择性钝化接触结构。 2) Poly 减薄后的电池的电性能优势:a.非栅线区域形成的超薄多晶硅层,减少了光的寄生吸收,提升电流密度,短路电流得到提升。b.选择性钝化接触结构,提升效率和双面率。3)通过对非 finger 区域进行激光照射,对 PSG 进行破坏,再通过碱对半成品进行清洗,finger 区域由于 PSG 未受影响,可以有效保护 poly,激光照射区域 PSG 被破坏无法有效保护,poly 被腐蚀去除,腐蚀区域无寄生吸收,可以有效提升电流,同时通过开膜宽度,降低对横向传输的不利影响。
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