成果简介

随着航空航天、微电子、微机电系统、微光学等领域的不断发展，飞秒激光微孔加工技术在航空发动机孔加工、发动机喷油嘴、高灵敏器件通孔、柔性电路等领域得到广泛应用。目前，虽然国内外利用飞秒激光技术制造微细孔工艺已经有了较大发展，但加工过程中，仍然无法完全避免其表面缺陷的产生，同时由于飞秒激光功率、加工速度、重复频率、脉宽、聚焦状态等参数与不同材质工件的匹配问题，造成加工过程中产生的等离子或残渣无法完全脱离，故微孔入口和孔壁处都会存有残渣等，同时飞秒激光技术所制造的微孔棱边较为尖锐，在工件服役过程中尖锐棱边处容易出现应力集中等现象，甚至产生微裂纹，从而极大降低飞秒激光制孔工件的使用寿命。针对飞秒激光制孔现存缺陷问题，结合飞秒激光制孔孔口棱边毛刺、熔融层及尖锐棱边等生成原因和分布情况，设计研制能满足小批量加工规模的飞秒激光制孔专用光整加工工装设备，进行工程化应用的验证实验；从人机工效学、生产效率、工作环境、加工成品件质量环评等方面制订飞秒激光制孔的光整加工工艺规程，研究光整加工工艺并优化工艺参数，最终实现飞秒激光制孔进出口尖锐棱边孔口倒圆、孔口无尖边毛刺及堆积物等企业需求；通过实验验证经过磁力研磨光整加工后的飞秒激光制孔各项技术指标对试验件使用性能的影响和贡献，为研究成果的进一步推广应用奠定基础。该成果已被北京动力机械研究所使用，达到同行业中先进水平。

成果技术成熟度：样品样机(产品)。

期望交易方式：技术转让、技术服务、技术许可、合作研发、中试试验、技术融资、技术作价入股。