【成果概述】

本产品硅烷（silane，化学式为SiH₄，纯度≥99.9999%）是拥有自主知识产权、采用三氯氢硅歧化法生产的产品，打破了国外长期垄断，产品质量优于《电子工业用气体硅烷》(GB/T15909-2017)规定的技术指标，实现了同类产品国产化替代，产品远销东南亚。电子级硅烷是半导体工业、电子信息产业、新能源产业最基础的原材料，广泛应用于光伏产业多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物、外延硅片、光电子产业，液晶平面显示器(TFT)、 电子复印机光感鼓膜、微电子产业，集成电路、玻璃镀膜等，可用于制造完美的外延薄膜，以及高质量、高水平的半导体分立器件，还可以用于制作非晶硅太阳能电池的原板。此外，硅烷还应用于制造先进陶瓷、复合陶瓷、功能材料、高能材料等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础材料，成为军事、卫星、交通（如磁悬浮列车晶闸管）等所用材料。

图1 硅烷产品储罐（20T/个）

图2 硅烷产品（包装物Y瓶，470L/个）

图3 硅烷产品（管束式集装箱）

【技术指标】

硅烷（SiH₄）纯度（体积分数）/10-2≥99.99996

氢（H₂）含量（体积分数）/10-6＜16

氦（He）含量（体积分数）/10-6＜1.0

氧+氩（O₂+Ar）含量（体积分数）/10-6＜0.04

氮（N₂）含量（体积分数）/10-6＜0.40    

【与国外同类技术产品对比情况】

技术对比情况：相当

价格对比情况：低于

国外技术产品厂家及名称：法国液空集团、美国REC公司等

【技术背景】

电子新材料硅烷的用途非常广泛，‌主要包括在微电子、‌光电子工业中的应用，‌以及在新能源和新材料领域的作用。‌‌包括但不限于：‌微电子、‌光电子工业：‌硅烷被广泛应用于微电子和光电子工业中，‌用于制造高纯度多晶硅、‌单晶硅、‌微晶硅、‌非晶硅、‌氮化硅、‌氧化硅、‌异质硅以及各种金属硅化物等。‌这些材料是现代电子和光电子设备的基础。‌光伏电池：‌在光伏电池领域，‌硅烷用于晶硅电池氮化硅减反射膜及非晶硅薄膜电池的制造。‌平板显示器行业：‌在平板显示器行业，‌硅烷用于LCD的TFT或LTPS基底沉积等。半导体行业：‌在半导体行业中，‌硅烷用于集成电路或分立器的二氧化硅薄膜、‌氮化硅钝化薄膜、‌硅晶体外延等。‌规模化生产电子级多晶硅：‌硅烷还用于大规模生产电子级多晶硅。‌新材料领域：‌高纯碳化硅、‌氮化硅微粉等新材料领域也广泛应用硅烷。‌玻璃工业：‌在玻璃工业中，‌电子级硅烷用于生产茶色玻璃，‌以及与乙烯制成混合气用于玻璃镀膜，‌制造高级建筑及轿车等的节能玻璃、‌单向透光玻璃及中小规模集成电路。‌高科技领域：‌硅烷和乙烯在激光激活下可生成碳化硅超细粉末，‌硅烷和氨在激光的激活下，‌可生成氮化硅超细粉末，‌这些粉末在高科技领域有重要应用。‌

综上所述，‌硅烷在电子新材料领域的应用非常广泛，‌从微电子和光电子工业到新能源和新材料领域，‌都发挥着不可或缺的作用。‌随着科技的进步和发展，‌硅烷的应用还在不断扩展和深化。‌