1.硅烷产品中含有微量杂质，为控制硅烷产品中氟的含量，成功研制出吸附装置，提高了硅烷纯度； 2.不凝气放空去火炬时夹带硅烷，此项目研发新工艺解决回收放空不凝气中硅烷，将回收的硅烷重新精馏合格创造经济效益； 3.以硅烷为初始原料，通过热分解方法，制取乙硅烷 。再经过精馏提纯，分离硅烷、高阶硅烷等杂质，得到高纯乙硅烷产品；在硅烷生产过程中产生一氯三氢硅、二氯二氢硅以及六氯乙硅烷，通过精馏提纯，得到相应的高纯产品；利用一氯三氢硅和高纯氨进行反应，再通过精馏提纯，分离杂质，得到高纯产品制取三甲硅烷基胺。